روش های لایه افشانی
بررسی روش اسپاترینگ و تارگت اسپاترینگ
از تارگت اسپاترینگ در روش کندوپاش استفاده می شود . روش کندوپاش یا Sputtering یکی از روش های لایه نشانی از فاز بخار است که در آن اتم ها یا مولکول های منبع یا به انگلیسی تارگت در میدان ایجاد کننده پلاسما شتاب می گیرند . این روش شامل ...
ادامه مطلب